機構放大式壓電促動器是通過疊堆式壓電陶瓷進行機構設計,與柔性鉸鏈支撐結構、放大結構及外殼結構組合成一體,將壓電陶瓷的直線位移進行放大,并在其位移的垂直方向進行輸出的促動器,且具有微位移分辨率高、穩定性強等特點。與直驅壓電促動器相比,在相同條件下,機構放大式壓電促動器產生的位移更大,出力會相對小。
由芯明天研發生產的80A14機構放大式壓電促動器,是利用鋼制外橢圓形機械放大結構設計,既可以對壓電疊堆陶瓷提供優化預緊力,也可起到保護作用,避免內部壓電疊堆陶瓷承受過大的拉力導致損壞。80A14機構放大式壓電促動器行程可達105μm,空載諧振頻率1700Hz,倒置承載能力高達50kg,產品外觀如下圖所示。行程可達105μm
倒置承載高達50kg
出力>1000N
空載諧振頻率高
納米級分辨率
• 視光學:探針掃描、光學透鏡的定位、光開關、快門/快門防抖、微掃描、晶片測試、天文學、聚焦定位、激光腔調諧、光纖的耦合和形變、FBG(光纖布拉格光柵)的形變、斬波器、干涉儀、PDP晶體切割、調制器等。• 機械學:光纖拉伸、工具定位、取放工具、金剛石車削、橢圓活塞加工、阻尼、動態控制、新一代超聲波或聲波振動、NDT、器件疲勞度監測等。• 流體學:比例閥、泵、測流技術、噴墨技術、注射器、液滴發生器等。